D.C Magnetron Spputtering을 이용한 고정밀 TaN Film제조에 관한 연구

• 허명수 (울산대학교 재료공학과) ;
• 이건환 (한국 기계 연구원 박막 기술실) ;
• 천회곤 (울산대학교 재료공학과) ;
• 권식철 (한국 기계 연구원 박막 기술실) ;
• 조동을 (울산대학교 재료공학과)

• 발행 : 1993.02.01

• PDF