운반기체가 텅스텐 박막의 물성에 미치는 영향

Effect of carrier gases on ppropperties of tungsten thin film

  • 이시우 (포항공과대학교 화학공학과 재료공정연구실) ;
  • 최희석 (삼성종합기술원)
  • 발행 : 1993.02.01