Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

저에너지 (10-100 eV) 질소 이온비임에 의해 생성된 규소 질화박막에 대한 LEED, AES, UppS 연구

  • 김병찬 ((주) 금성 일렉트론) ;
  • 강헌 (포항공과대학 화학과) ;
  • 정진욱 (포항공과대학 물리학과)
  • Published : 1993.02.01
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