CVD에 의한 Diamond박막성장시 W-filament의 임계 CH$_4$농도 및 박막에 미치는 Bias영향

• 이철로 (한국표준과학연구원 진공연구실) ;
• 김관식 (충남대학교 공과대학 금속공학과) ;
• 임재영 (한국표준과학연구원 진공연구실) ;
• 정광화 (한국표준과학연구원 진공연구실) ;
• 천병선 (충남대학교 공과대학 금속공학과)

• 발행 : 1993.02.01

• PDF