Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1992.05a
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Pages.68-69
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1992

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

FT-IR SPECTRA ANALYSIS OF SURFACE-RESIST FOR SUB-QUART LITHOGRAPHY

SUB-QUART LITHIOGRAPHY에서 실리콘이 확산된 RESIST 표면의 FT-IR 분석

배경성 (삼성전자(주)) ;
이중현 (삼성전자(주)) ;
남정림 (삼성전자(주)) ;
박춘근 (삼성전자(주)) ;
한우성 (삼성전자(주)) ;
이문용 (삼성전자(주)) ;
박종완 (한양대학교 금속공학과)

Published : 1992.05.01

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Abstract

Keywords