Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1992.05a
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- Pages.63-63
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- 1992
Formation of TiN/$TiSi_2$ biliayer by RTN in $N_2$ ambient
$N_2$ 분위기에서의 RTN에 의한 TiN/$TiSi_2$ bilayer의 형성에 관한 연구
Abstract
Keywords