Structural Analysis of the Copper Phthalocyanice Thin Films Prepared By Plasma-activated Evaporation

플라즈마 활성화된 증발 공정에 의해 증착된 구리 프탈로 사이아닌 박막의 구조분석

  • 김준태 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 최창구 (한국과학기술원 전자세라믹센터) ;
  • 이원종 (한국과학기술원 전자재료공학과)
  • Published : 1992.05.01