Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Preparation of $ZrO_2$ thin films by MOCVD using ultrasonic spraying

초음파분무를 이용한 MOCVD 에 의한 $ZrO_2$박막의 제조

  • 김동영 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 이춘호 (계명대학교 재료공학과) ;
  • 박순자 (서울대학교 무기재료공학과)
  • Published : 1992.05.01
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