Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1992.05a
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Pages.38-38
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1992

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Effect of RTA Post-treatment of Thermal Oxide Thin Films

열산화 $Ta_{2}O_{5}$ 박막의 RTA후처리의 영향

문환성 (한양대학교 금속공학과) ;
한성욱 (한양대학교 금속공학과) ;
박상균 (한양대학교 금속공학과) ;
이재석 (한양대학교 금속공학과) ;
박종완 (한양대학교 금속공학과) ;
양승기 (삼성종합기술원) ;
이재천 (한국자원연구소)

Published : 1992.05.01

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Abstract

Keywords