TEM Study of OMVPE Grown $In_{x}Ga_{1-x}As/InP$ Heterointerfaces

투과전자현미경을 이용한 OMVPE $In_{x}Ga_{1-x}As/InP$ 접합계면의 분석연구

  • 백문철 (한국전자통신연구소 반도체연구단 물성분석연구실) ;
  • 남산 (한국전자통신연구소 반도체연구단 물성분석연구실) ;
  • 권오준 (한국전자통신연구소 반도체연구단 물성분석연구실) ;
  • 오대곤 (한국전자통신연구소 반도체연구단 광전자연구실) ;
  • 박효훈 (한국전자통신연구소 반도체연구단 기초기술연구부)
  • Published : 1992.05.01