Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

2 step W-CVD process using the poly Si for filling sub-micron contacts with high aspect ratio

서브마이크론 콘택을 매꾸기 위해 poly Si를 이용한 2단계 W-CVD

  • 최경근 (현대전자(주)반도체 연구소) ;
  • 황성보 (현대전자(주)반도체 연구소) ;
  • 박홍탁 (현대전자(주)반도체 연구소) ;
  • 고철기 (현대전자(주)반도체 연구소)
  • Published : 1992.05.01
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Abstract

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