Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on the Formation of $CoSi_2$ Epitaxial Layer on (100) Si in Co/Ta bilayer

(100)Si에서 Co/Ta bilayer metal을 이용한 $CoSi_2$ 에피층 성장에 관한 연구

  • 변정수 (서울대학교 공과대학 무기재료공학과) ;
  • 김형준 (서울대학교 공과대학 무기재료공학과)
  • Published : 1992.05.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords