Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1992.05b
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Pages.151-151
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1992

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

A Study about the Tantalum Oxide Film Properties Changed with the Deposition Temperature

증착 온도에 따른 Tantalum Oxide 막의 성질 변화 연구

박태서 (삼성전자(주)반도체 부문) ;
강창석 (삼성전자(주)반도체 부문) ;
권기원 (삼성전자(주)반도체 부문) ;
선용빈 (삼성전자(주)반도체 부문) ;
이문용 (삼성전자(주)반도체 부문) ;
이종길 (삼성전자(주)반도체 부문)

Published : 1992.05.01

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Abstract

Keywords