한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

플라즈마 화학증착법에 의한 $ZrO_2$박막과 $Y_{2}O_{3}$로안정화된 $ZrO_2$박막의 특성

The Properties of $ZrO_2$ and $Y_{2}O_{3}$-Stabilized $ZrO_2$ Thin Films by Enhanced Chemical Vapor Deposition

  • 김의태 (충남대학교 공과대학 재료공학과) ;
  • 윤순길 (충남대학교 공과대학 재료공학과)
  • 발행 : 1992.05.01
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