한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

ULSI용 저저항 텅스텐 및 텅스텐질화박막의 특성

Characteristics of low rsistive W and $W_{2}N$ thin films for ULSI

  • 발행 : 1992.05.01
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