Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Microstructural Analysis of polycrystalline Silicon on $SiO_2$ Using TEM

실리콘 산호막 위에 적층된 다결정실리콘층의 미시구조에 대한 TEM 분석

  • 백문철 (한국전자통신연구소 반도체연구단 물성분석연구실) ;
  • 남산 (한국전자통신연구소 반도체연구단 물성분석연구실) ;
  • 권오준 (한국전자통신연구소 반도체연구단 물성분석연구실) ;
  • 송윤호 (한국전자통신연구소 반도체연구단 고집적소자연구실) ;
  • 백종태 (한국전자통신연구소 반도체연구단 고집적소자연구실) ;
  • 남기수 (한국전자통신연구소 반도체연구단 고집적소자연구실)
  • Published : 1992.05.01
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Abstract

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