Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1992.05b
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- Pages.83-83
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- 1992
Concenration profiles of boron-implants into $As^{+}$ -ion implanted, preamorphized silicon
비소이온주입에 의해 선 무정형화된 실리콘 속으로 이온주입된 붕소원자의 농도분포
Abstract
Keywords