Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Improvement of high temperature stavility of Ti-silicide by SITOX method

Polycide구조에서 SITOX방법을 이용한 Ti-silicide의 고온 안정성 개선

  • 김호석 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 최진석 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 황유상 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 백수현 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 정재경 (삼성 전자 반도체 연구소) ;
  • 김영남 (삼성 전자 반도체 연구소) ;
  • 심태언 (삼성 전자 반도체 연구소) ;
  • 이종길 (삼성 전자 반도체 연구소)
  • Published : 1992.05.01
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Abstract

Keywords