한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

Study of Annealed Ti/SiO2 Interface Reaction Using XppS

  • 김영남 (삼성반도체 기반기술센타) ;
  • 이내인 (삼성반도체 기반기술센타) ;
  • 문환구 (삼성반도체 기반기술센타) ;
  • 한철현 (삼성반도체 기반기술센타) ;
  • 김영욱 (삼성반도체 기반기술센타) ;
  • 심태언 (삼성반도체 기반기술센타) ;
  • 이종길 (삼성반도체 기반기술센타)
  • 발행 : 1992.07.01
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