건식 식각에 의한 실리콘 표면층의 변형과 회복에 관한 연구

• 권광호 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
• 박형호 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
• 이수민 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
• 곽병화 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
• 김보우 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
• 권오준 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
• 성영권 (고려대학교 전기공학과)

• 발행 : 1992.07.01

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