Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

LPCVD 조건하에서 SiH4 의한 WF6 환원반응으로부터의 텅스텐 박막 증착 메커니즘에 관한 연구

  • 김성훈 (서울대학교 자연과학대학 화학과) ;
  • 윤완수 (서울대학교 자연과학대학 화학과) ;
  • 양성익 (서울대학교 자연과학대학 화학과) ;
  • 김성근 (서울대학교 자연과학대학 화학과)
  • Published : 1992.07.01
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