Electrical Chracterization of Ta2O5 Thin Films Depposited by ppECVD

ppECVD로 증착한 Ta2O5 박막의 전기적 특성

  • 김선우 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 김형준 (서울대학교 무기재료공학과)
  • Published : 1992.07.01