Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

열처리조건과 부도체 박막 변화에 따른 다결정 실리콘 게이트에서의 보론 거동조사

  • 김동원 (삼성반도체 기반기술센터) ;
  • 문환구 (삼성반도체 기반기술센터) ;
  • 이우성 (삼성반도체 기반기술센터) ;
  • 한철헌 (삼성반도체 기반기술센터) ;
  • 심태언 (삼성반도체 기반기술센터)
  • Published : 1992.07.01
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Abstract

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