이온주입된 시료의 표면층 변화가 타원해석 스펙트럼에 미치는 영향

  • 김상열 (아주대학교 자연과학대학 물리학과) ;
  • 나연수 (아주대학교 자연과학대학 물리학과) ;
  • 문대원 (표준과학연구원 무기분석 연구실)
  • 발행 : 1992.07.01