Sputter 증착된 TiN 코팅층의 밀착성에 질소이온의 주입 및 이온질화 전처리 효과연구

  • 권식철 (한국기계연구소 표면공학실) ;
  • 이건환 (한국기계연구소 표면공학실) ;
  • 황정남 (한국기계연구소 표면공학실) ;
  • 최병호 (한국기계연구소 표면공학실)
  • 발행 : 1992.07.01