Prepparation of MgAl2O4 Films on Si by Single pprecursor OMCVD

  • 윤민영 (한국화학연구소 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
  • 김윤수 (한국화학연구소 화학소재연구부 박막재료연구실)
  • 발행 : 1992.07.01