RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 SrTiO3 박막의 계면 분석에 관한 연구

• 남승희 (한국과학기술원 재료공학과) ;
• 이원재 (한국과학기술원 재료공학과) ;
• 김호기 (한국과학기술원 재료공학과) ;
• 김경중 (한국표준연구원 ,표면분석실) ;
• 문대원 (한국표준연구원, 표면분석실)

• 발행 : 1992.07.01

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