Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

A study on the increased reliability of Al thin film metallizations

Al 박막 금속화의 신뢰성 향상에 관한 연구

  • 전진호 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 김영진 (광운대학교 전자재료공학과)
  • Published : 1992.02.01
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