대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1992년도 하계학술대회 논문집 B
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- Pages.835-838
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- 1992
기판 실리콘의 $BF_2$ 불순물 원자에 의한 $TiN/TiSi_2$ bilayer의 특성
Characteristics of $TiN/TiSi_2$ bilayer by $BF_2$ dopant at Si substrate
- Lee, C.J. (Department of Electrical Eng. Korea University) ;
- Park, J.S. (Department of Electrical Eng. Korea University) ;
- You, H.S. (Department of Electrical Eng. Korea University) ;
- Sung, Y.K. (Department of Electrical Eng. Korea University)
- 발행 : 1992.07.23
초록
The
키워드