Proceedings of the KOSOMBE Conference (대한의용생체공학회:학술대회논문집)

The Korean Society of Medical and Biological Engineering (대한의용생체공학회)
권호 표지

Micro Sensor

마이크로 센서

  • Park, Se-Kwang (Sensor Technology Research Center, Kyungpook National University, Department of Electrical Engineering)
  • 박세광 (센서기술연구센터, 경북대학교 공과대학 전기공학과)
  • Published : 1991.11.15
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Abstract

체내의 유익한 정보를 검출하기 위해서는 생리학적으로 부작용이 얼고 정확한 정보를 신속히 걸출하여야만 한다. 이를 위해서는 무침습적으로 측정하거나 무침습적이지 못할 경우, 침습을 최소화하기 위한 센서의 소형화가 불가피하다. 최근 집적회로 공정 기술인 미세 가공 기술을 응용하여 소형화될 뿐 아니라 고도의 기능을 가진 센서가 연구되고 있다. 또한 센서에 집적회로와 액류에이터를 일체화한 집적화 센서도 연구되고 있다. 여기서는 현재 사용되고 있는 미세 가공 기술들 중 식각 기술과 식각 중지 기술, 접합 기술에 관해 언급하였다. 그리고, 이러한 기술을 이용하여 제작된 마이크로 센서(Micro Sensor)에 관해 간략히 살펴본다.

Keywords