한국자기학회:학술대회 개요집 (Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference)

한국자기학회 1991년도 추계연구발표회 논문개요집
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Pages.88-89
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1991
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2233-9485(pISSN)
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2233-9574(eISSN)

한국자기학회 (The Korean Magnetics Society)

권호 표지

복합타게트법을 사용한 고주파 마그네트론 스퍼터링에서의 코발트-초기천이금속계박막의 조성 변화

Compositional Change of Co-Early Transition Metals Thin Film in RF Magnetron Sputtering Using Composite Target Method

김희중 (한국과학기술연구원) ;
한석희 (한국과학기술연구원) ;
강일구 (한국과학기술연구원)

발행 : 1991.11.01

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