Control Techniques Micro-Vibration for Sensitive Mechanical Equipment

정밀기기의 미진동 제어기술

정밀장비의 진동환경을 평가, 제어하기 위해서는 우선적으로 미진동 환경을 측정할 수 있는 장비와 기술이 필요하며, 방진 system 구성시 국내에서는 방진소재의 개발이 요구되고 있다. 그리고 진동에 민감한 정밀장비들을 사용 하는 반도체 및 정밀공장에서는 진동허용 기준을 나타내는 data sheet가 필 요하고 사용자측에서도 장비의 진동 test성적서를 장비구매시 제작사에 요구 할 필요성이 있다. TEM(투과형 전자현미경)의 경우 음압에 의한 가진문제도 대두되고 있으며 정밀장비가 최대의 성능을 발휘하기 위해서는 이러한 문제 를 검토해야 한다. 만일 국내에서 진동에 민감한 정밀장비를 제작시 장비의 진동 특성을 평가할 수 있는 실험장치와 기술이 필요하다.