한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 1990년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.55-59
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- 1990
어닐링 온도 변화에 따른 다결정 MOSFET의 Subthreshold 특성
Subthreshold characteristics of polysilicon MOSFETs depending on Annealing Temperature
초록
N-Channel polysilicon MOSFETs (W/L=20/1.5, 3, 5.10
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