Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

A study of amplification for discharge excited KrF excimer laser

방전여기 KrF 엑사이머 레이저증폭

  • 김수경 (경희대학교 전자공학과)
  • Published : 1990.02.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

본 연구는 KrF 엑사이머 레이저 증폭을 하기 위하여 먼저 능동매질을 N도 사용하여 발전기와 증폭기의 시간적인 동기회에 주 목적을 두었고 안정한 증폭기의 출력을 얻기 위해 방전관 에너지의 5%를 예비전리로 최적화 시켰으며 방전에 사용되는 Spark Gap Switch의 내부 인덕턴스를 고찰하였다.

Keywords