Preparation and Characterization of Optical Thin Films by Ion-assisted Deposition

이온 보조 증착에 의한 광박막의 제작과 특성

광박막의 광학적, 기계적 및 화학적 특성은 bulk에 비해 떨어지며, 제작된 광박막의 특성이 설계치보다 못한경우도 때로 관측된다. 이러한 문제점의 대부분이 광막박의 고유 구조인 기둥 미세 구조로부터 기인한다. 광박막의 기둥구조를 변화시켜 bulk의 특성에 가깝게 가는 방법으로 시행되고 있는 여러 기술중, 광박막계에 비교적 큰 변화를 가져온 이온보조 증착 기술과 이에의해 제작된 광박막의 특성 및 앞으로의 전망에 관한여 알아본다.