대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1989년도 하계종합학술대회 논문집
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- Pages.390-393
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- 1989
$CO-H_2$ 혼합 기체의 MPECVD 에 의한 다이아몬드 합성에 관한 연구
A Study on the Diamond Synthesis by MPECVD using $CO-H_2$ Mixture
- Ku, Ja-Chun (SNU, Dep. of Electric Eng., PLASMA Lab.) ;
- Oh, Jeong-Seob (SNU, Dep. of Electric Eng., PLASMA Lab.) ;
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Hwang, Ki-Woong
(SNU, Dep. of Electric Eng., PLASMA Lab.)
- 발행 : 1989.07.21
초록
Diamond is synthesized from the gaseous mixture of carbon monoxide and hydrogen by microwave PECVD.
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