Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 1989.07a
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- Pages.345-348
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- 1989
Microdisplacement Control Microactuator
미세거리 조정 마이크로 액투에이터
- Park, Se-Kwang (Kyungpook National University, Electrical Engineering Department)
- 박세광 (경북대학교 전기공학과)
- Published : 1989.07.21
Abstract
A small linear incremental device, which is called a microworm, is introduced, and this paper explains working principle, design considerations and theoritcal force analysis of the microworm. A fluid control microvalve and a piezoelectric motor as an application of the microworm are explored for feasibility.
미세거리 조정용 극소형 기기인 마이크로 웜을 소개하고 그 원리및 설계에 필요한 사항의 이론 분석한 것을 설명하였다. 또한 이의 응용으로서 유량을 제어 할 수있는 밸브, 압전형 모터 등에 관해 소개한다.
Keywords