대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1987년도 전기.전자공학 학술대회 논문집(I)
- /
- Pages.539-541
- /
- 1987
CO2 레이저 열처리에 따른 이온 주입된 다결정 실리콘 박막의 판막저항 변화에 관한 연구
A Study on the Sheet Resistance Variation in Ion Implanted Poly-Si Thin Flim by CO2 Laser Annealing
- Park, Pyeong-Whang (Dept. of Elec.Eng. Sogang University) ;
- An, Chul (Dept. of Elec.Eng. Sogang University)
- 발행 : 1987.07.03
초록
P+ ion implanted poly-Si flim with doses of 10E13-10E16 ions/
키워드